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集成电路与光刻机 9787030657923 科学出版社 供光刻机相关领域的科研与工程技术人员阅读参考 光刻工艺 向朝 戴凤钊 等著
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光刻机像质检测技术(下册) 王向朝 等 著 电子/通信（新）专业科技 新华书店正版图书籍 科学出版社
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集成电路与光刻机 王向朝集成电路与光刻机发展历程电子通信集成电路的发展与摩尔定律分基本结构工作原理技术计算书籍科学出版社
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